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CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处（见上图），但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单，而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上，被称作终点检测，通常有电机电流终点检测、光学终点检测。

在抛光工艺过程中，磨料和被抛光对象都会造成硅片的沾污，清洗的主要目的就是为了清除这些沾污物质，使硅片的质量不致受到影响。所采用到的清洗设备有毛刷洗擦设备、酸性喷淋清洗设备、超声波清洗设备、旋转清洗干燥设备等。清洗步骤主要有氧化硅清洗、浅沟槽隔离清洗、多晶硅清洗、钨清洗、铜清洗等。

* 生产中间步骤中氧化层和金属间电介层的平面化

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在2009年，尼克·朗里奇（Nick Longrich）等人重新研究沃·兰斯顿的当年笔记，试图找出这个五角龙标本的最初挖掘地点。朗里奇等人根据化石周围的母岩，而认为化石属于弗鲁特兰组（Fruitland Formation）上层或基德兰组（KirtlandFormation）的下层，地质年代约7450万到7370万年前，相当于晚白垩纪的晚坎潘阶，但详细的挖掘地点已不可考；他们也发现这个头颅骨与五角龙有差异。在2011年，尼可·郎里奇将这个化石建立为新属，模式种是乌拉诺斯泰坦角龙（T. ouranos）。属名意为「泰坦的有角面孔」，意指牠们的巨大体型；种名则是以泰坦神之一的乌拉诺斯为名。

泰坦角龙的头颅骨，比最大型的三角龙头颅骨还大了15%，显示牠们是种相当大型的角龙类恐龙，完整身长估计约9公尺。眼睛上方的额角相当笔直，长度为105公分。脸颊两侧各有一个突出部，长度为12公分。鼻角则较小。后肢的股骨长108公分，胫骨长78公分。

尼克·朗里奇在命名泰坦角龙时，将牠们归类于开角龙亚科的三角龙族（Triceratopsini）演化支，三角龙族还包含：始三角龙、三角龙、牛角龙；牛角龙可能是三角龙的异名。泰坦角龙是目前已知生存年代最早的三角龙族恐龙。在2010年，汤玛斯·荷兹（Thomas R. Holtz, Jr.）发现泰坦角龙非常类似始三角龙、白杨山角龙，三者生存于相同时代的相同地区，牠们可能是相同动物。

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484年（南朝齐齐武帝永明2年），出任寻阳相。

491年（南朝齐齐武帝永明9年），垣荣祖卒，享年五十七。

* 垣荣祖年轻时学习骑马及射箭，有人跟他说：「武事可畏，何不学书。」垣荣祖自答：「昔曹操、曹丕上马横槊，下马谈论，此于天下可不负饮食矣。君辈无自全之伎，何异犬羊乎！」

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